韓国Jmaterials社の半導体CVD装置用Si及びSiC消耗部材の販売開始、株式会社タイセー

株式会社タイセー(代表取締役 岩城 宏和)は韓国Jmaterials社(JM社)製品の取扱いを始めました。JM社は韓国牙山市のSi及びSiC加工メーカーで大手半導体メーカーに豊富な納入実績があります。

ここ数年JM社のSi Ringの月間製造量は5,500pcs、Si Cathodeは200pcsになり、年々着実に生産可能数を拡大してきました。韓国国内の大手半導体メーカー及び海外メーカーに納入実績があります。

Si及びSiC製品はお客様の要求に合わせてカスタマイズすることを強みとしております。

J Materials CO., LTD (제이머티리얼즈 주식회사, ジェイマテリアルズ株式会社)

製造風景

▪️Si(シリコン、ケイ素)製品

機器メーカーの要求に応じて300件（Part Number）以上の実績があります。

Ring(下部)

• 8インチ、12インチ、16インチの精密加工品で、プロセスチャンバーの下部に取り付けられ、プラズマを安定化させる役割を担っています。（半加工品および完成品の顧客ニーズに対応可能です）

• 2022年に韓国の大手半導体メーカー最優秀Best Performerに選定

Focus Ring(フォーカスリング)

Edge Ring(エッジリング)

Insert Ring(インサートリング)

Ring(上部)

•プロセスチャンバーの上部のカソードの外側に取り付けられ、固定および保護の役割を果たします。

Outer Ring(アウターリング)

Section Ring(セクションリング)

GND Ring(GNDリング)

カソード( Cathode)

•プロセスチャンバーの上部に取り付けられ、プラズマを正確な位置に集める役割を果たします。

• φ0.35以上の微細な穴を形成することができ、DOD分析を用いて高品質な精密加工が可能です。

Type1

Type2

Type3

▪️SiC(炭化ケイ素)製品

リング、サセプター、ダミーウェハー

• SiC部品は高温に耐え化学的にも安定しています。リング、サセプター、ダミーウェハーなどの製品が供給可能です。

Ring(リング)

Susceptor(サセプター)

SiCダミーウェハー

用途：主にパワーエレクトロニクス半導体製造プロセスの開発や装置のテスト、品質管理。