IoT時代に求められる半導体プロセスの微細化と、3次元構造に対応するフォトレジスト材料の最適化技術を詳解。次世代EUVリソグラフィーの導入に向けた動向を網羅した1冊が普及版となって発売！ 2024年8月8日 13時50分 株式会社シーエムシー出版
6月7日(水) AndTech WEBオンライン3か月連続学習講座「ArFリソグラフィ～EUVリソグラフィ・ナノインプリントによる半導体微細加工入門」Zoomセミナー講座を開講予定 2023年5月9日 18時43分 AndTech
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