10月13日(火) AndTech「KrF・ArFを中心とした半導体用レジスト材料の設計・合成と評価技術」WEBオンライン Zoomセミナー講座を開講予定
関西大学 化学生命工学部 化学・物質工学科 教授 工藤 宏人 氏にご解説いただきます。
株式会社AndTech（本社：神奈川県川崎市、代表取締役社長：陶山 正夫、以下 AndTech）は、R&D開発支援向けZoom講座の一環として、第一人者の講師からなる「レジスト材料」講座を開講いたします。
KrF・ArFを中心とした半導体用レジスト材料の分子設計・合成・評価技術と、EB・EUV・メタルレジストへの展開について説明する!
本講座は、2026年10月13日開講を予定いたします。
詳細：https://andtech.co.jp/seminars/1f1a1168-d6c6-612c-a003-064fb9a95405
Live配信・WEBセミナー講習会 概要
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テーマ：KrF・ArFを中心とした半導体用レジスト材料の設計・合成と評価技術
開催日時：2026年10月13日（火） 10:30-16:30
参 加 費：50,600円（税込） ※ 電子にて資料配布予定
U R L ：https://andtech.co.jp/seminars/1f1a1168-d6c6-612c-a003-064fb9a95405
WEB配信形式：Zoom（お申し込み後、URLを送付）
本セミナーで学べる知識や解決できる技術課題
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・レジストシ材料の基礎について理解する。
・レジスト材料の問題点について把握する。
・レジスト材料の分子設計方法について理解する。
・レジスト材料の開発の方向性について理解する。
・レジスト材料の今後の開発の方向性について理解する。
本セミナーの受講形式
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WEB会議ツール「Zoom」を使ったライブLive配信セミナーとなります。
詳細は、お申し込み後お伝えいたします。
株式会社AndTechについて
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化学、素材、エレクトロニクス、自動車、エネルギー、医療機器、食品包装、建材など、
幅広い分野のR&Dを担うクライアントのために情報を提供する研究開発支援サービスを提供しております。
弊社は一流の講師陣をそろえ、「技術講習会・セミナー」に始まり「講師派遣」「出版」「コンサルタント派遣」
「市場動向調査」「ビジネスマッチング」「事業開発コンサル」といった様々なサービスを提供しております。
クライアントの声に耳を傾け、希望する新規事業領域・市場に進出するために効果的な支援を提供しております。
株式会社AndTech 技術講習会一覧
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本件に関するお問い合わせ
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株式会社AndTech 広報PR担当 青木
メールアドレス：pr●andtech.co.jp（●を@に変更しご連絡ください）
下記プログラム全項目（詳細が気になる方は是非ご覧ください）
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【講演主旨】
フォトレジスト材料は，化学増幅型システムを基盤として，露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について，高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。
さらに，KrF，ArF，EB，およびEUVレジスト材料の合成例と分子設計指針について基礎から応用までを解説する。
また，レジスト材料の基礎的な評価方法を解説し，新規なレジスト材料の開発方法について解説しながら，最新のレジスト材料としてEUVレジスト材料の開発方法について解説する。
【プログラム】
1,半導体の歴史とレジスト材料の変遷
1-1, 原理
1-2, 合成例
1-3, 化学増幅型レジスト材料の原理や例
（KrF・ArF・EUV用レジスト材料）
2,半導体の歴史とレジスト材料の変遷
2-1, 原理
2-2, 合成例
2-3, 化学増幅型レジスト材料の原理や例
3,ポジ型レジスト材料
3-1, 材料的な特性
3-2, 主な応用・用途
4, ネガ型レジスト材料
4-1, 材料的な特性
4-2, 主な応用・用途
5,高分子レジスト材料と低分子レジスト
5-1, 材料的な特性
5-2, 主な応用・用途
6,レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
6-1, レジスト材料の評価項目，評価手法について
6-2, レジスト材料の評価方法と開発例
7,最新型レジスト材料
7-1, メタルレジスト
7-2, EB,EUV用レジスト材料
8,良く出る質問，ケーススタディ，Ｑ＆Ａ
【例1】レジスト組成物としての添加剤の使用目的とは？
【例2】レジスト材料の機械的特性の評価法とは？
【例3】アウトガスの発生原因とその測定方法とは？
【例4】光源の照射量・時間・強さの調整法とは？
【例5】カリックスアレーンのレジスト材料への可能性は？
【例6】レジスト材料の耐久性，寿命予測法とは？
【例7】レジスト材料に求められる改善点，課題とは？
【例8】レジスト材料の保存管理のポイントは？
【例9】レジスト材料の安全性や規格規制の動きは？
【例10】レジスト材料の海外での研究実例は？
【質疑応答】
【講演のポイント】
これまでに開発されてきたレジスト材料の特性を理解し、レジスト材料の分子設計指針について理解を深めることができる。
同時に、現在のレジスト材料の問題点を克服し、改良ポイントなどの考察力をつけることができる。
＊ 本ニュースリリースに記載された商品・サービス名は各社の商標または登録商標です。
＊ 本ニュースリリースに記載された内容は発表日現在のものです。その後予告なしに変更されることがあります。
以 上
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