スパッタ法を用いて高品質なScAlN薄膜の作製に成功 ~成長温度の系統的変化が構造特性と電気特性に及…
東京理科大学
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株式会社FUTUREWOODS
株式会社ispace
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VISTAL VISION株式会社
リガク・ホールディングス株式会社
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レゾナック・ホールディングス
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住友林業株式会社
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MJG株式会社
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ムルチバック・ジャパン株式会社
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nano tech 実行委員会事務局
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
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株式会社ウエニ貿易
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A&Mグループ株式会社
アイオン株式会社