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2月25日(水)「リソグラフィ技術の基礎およびEUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望」Zoomセミナーを開講予定

13時間前 AndTech 　　 　　

光電融合に対応、ウシオがピッチ補償光学系と位相シフト形成機能を備えた新たな干渉露光装置を開発

2025年8月26日 13時02分 ウシオ 　　 　　

小型基板向け半導体露光装置“FPA-3030i6”を発売　新開発レンズ採用と多彩なオプションにより市場が拡大するパワーデバイス製造に対応

2024年9月24日 13時00分 キヤノン株式会社 　　 　　

IoT時代に求められる半導体プロセスの微細化と、3次元構造に対応するフォトレジスト材料の最適化技術を詳解。次世代EUVリソグラフィーの導入に向けた動向を網羅した1冊が普及版となって発売！

2024年8月8日 13時50分 株式会社シーエムシー出版 　　 　　

2月06日(火) 　AndTech「EUVリソグラフィ技術と半導体微細化に向けた最新動向」WEBオンライン Zoomセミナー講座を開講予定

2024年1月31日 10時08分 AndTech 　　 　　

ウシオとアプライド マテリアルズ、AI時代のより強力なコンピューティングシステムを可能にする画期的デジタルリソグラフィ技術を発表

2023年12月13日 06時07分 ウシオ 　　 　　

8インチ対応のプロキシミティ露光機 PXSシリーズを販売開始

2023年6月27日 14時33分 ウシオライティング株式会社 　　 　　

AndTech　「EUVリソグラフィ技術 ～レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状～ 」の書籍を刊行

2023年5月23日 15時02分 AndTech 　　 　　

業界最高レベルのダイナミックレンジを実現した監視用途向けCMOSセンサーを開発　領域ごとに最適露光を自動決定することで移動する被写体の認識精度が向上

2023年1月12日 13時00分 キヤノン株式会社 　　 　　

2月24日(木)　AndTech　WEBオンライン「レジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎と最新技術動向」Zoomセミナー講座を開講予定

2022年1月17日 14時38分 AndTech